agÆì½¢Ìü¹Ù·½ÍøÕ¾¹ÙÍø

Cn

IPH°ëµ¼ÌåÖжÈÑÏ¿ÁϵÁÐ

ÓÃ;£º

Etch,  Implant,  HDP-CVD,  SACVD,  MOCVD,   PECVD,   LPCVD,    ALD


Ìص㣺


IPHϵÁÐÂݸËÕæ¿Õ±ÃÄܹ»ÔÚÆÕ±éµÄÓ¦ÓÃÁìÓòÌṩÓÅÁ¼µÄÐÔÄÜ£¬ÊÊÓÃÓÚÑÏ¿ÁÖƳÌ ¡£

ËüÓÅÁ¼µÄÐÔÄÜÔ´×ÔÓÚת×ÓÅÅÆø·¾¶ºÍÓÅÔ½µÄת×ÓÐÍÏßÉè¼Æ ¡£

agÆì½¢Ìü¹Ù·½ÍøÕ¾¹ÙÍøÆæÒìÐÍÏßÉè¼Æ£¬ÉϺ££¬Ì¨Í壬ÖÆÔì ¡£

½Ï֮ǰµÄ°æ±¾½ÚÄÜ25%£¬ÉèÖÃÓÐÊ¡µçģʽ ¡£

´øÓмÓÈÈϵͳ×èÖ¹ÖƳÌÎï³Á»ý ¡£

ÓÅ»¯µÄ³ß´ç£¬¼´²å¼´Óà ¡£


¹æ¸ñÐͺÅ
²úÆ·Ñù±¾ºÍÊÖÒÕÊÖ²á

1609394304(1).jpg

²úÆ·Ñù±¾ºÍÊÖÒÕÊÖ²á

²úÆ·Íâ¹Ûͼ

Ãû³Æ

Ðû²¼Ê±¼ä

ÏÂÔØ

ÍøÕ¾µØͼ